深圳 展芯科技 Mini探针台系统

Mini系列探针台-4英寸、高性价比、简易便携式探针台

Mini系列功能配置简单，结构设计简洁，可应用于I-V/C-V测试、RF测试分析测试中。

简易的功能配置，可满足用户基础的测试需求。载物台基座同轴X-Y调节旋钮，配合第三方向的机械刹车臂，可快速精准地定位载物台。载物台360°R轴粗调，可快速地对准探针和被测点。载物台真空吸附采用旋钮开关，相较于真空拔子开关，旋钮开启和关闭真空的过程中不会产生震动，可很好地保护探针和被测点。探针台底座配置防震脚垫，能有效减弱传导至探针台的外部震动，提升Mini系列的稳定性。

技术指标  

载物台      

 尺寸：4"(101.6mm)  

 材质：不锈钢  

 平整度：≤±2.5μm  

 真空区域：0，2"，4"，环形吸附  

 真空控制： 手动控制，独立真空区域  

 载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号  

载物台移动基座      

 X-Y轴行程范围：2"*2"(50.8mm*50.8mm)  

 精度：10μm  

 R轴粗调角度范围：360°  

探针座放置平台      

 材质：钢（表面沉镍处理）  

 平台板尺寸：可放置8个SE40或4个SE80  

 平台板至载物台高度：1.496"(38mm)  

 探针座兼容性：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座  

显微镜基座      

 支撑杆：不锈钢支柱  

 调焦行程：2"(50mm)  

显微镜      

 类型： 体视显微镜  

 光学放大倍率：15X-100X  

其它信息      

 台体尺寸：440mm*280mm*495mm（W*D*H）  

 重量：21kg  

设备环境要求      

 电源：220V±10%  

 真空：-8bar  

 压缩空气：0.6MPa