深圳 展芯科技 LAB探针台系统

LAB系列探针台-模块化结构设备、全功能型探针台

产品应用：

DC、RF、mmW测试

纳米级电子器件测试，微机电测试，高功率测试

产品特点：

   LAB系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择*适合的功能配置，确保*佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。

   LAB系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。

LAB系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。

技术指标  

载物台(常规晶圆载物台）      

 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"    

 材质：不锈钢  

 平整度：≤±2.5μm  

 真空区域*：0，2"，4"，6"环形吸附**  

 真空控制：手动控制，独立真空区域  

 真空驱动方式：真空泵  

 载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号  

*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。  

载物台移动基座      

 X-Y轴行程范围*：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程  

 精度：1μm  

 R轴粗调角度范围：360°  

 R轴细调角度范围：±9°  

 微调精度：0.0001°/deg  

 Z轴细调行程范围：13mm  

 细调精度：1μm  

 Z轴快升行程：0~6mm, 可调  

 Z轴往复精度：<1μm  

 载物台快速拖出行程：100mm  

*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。  

探针座放置平台      

 材质：钢，表面沉镍处理  

 平台板尺寸*：可放置8个CM50或4个RF50探针座  

 平台板至载物台高度：1.496”(38mm)    

 探针座兼容性：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座  

 Z轴细调行程范围：45mm  

 Z轴快升行程：350μm    

 Z轴往复精度：<1μm  

*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。  

显微镜移动基座      

 X-Y轴行程范围：2"*2"(50mm*  50mm)  

 X-Y轴精度：1μm  

 调焦行程：2"(50mm)  

 精度：1μm  

 Z轴粗调行程：100mm  

 气动升降行程：40mm  

光学系统      

 类型：金相显微镜，可选体视或单筒显微镜  

 光学放大倍数*：20X-2000X  

* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。  

其它信息      

 台体尺寸：724mm*606mm*610mm（W*D*H）  

 重量：120kg  

加热载物台(可选项）      

 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"    

 温度范围：室温~300℃  

 温控精度*：0.5℃（典型值）  

 温度均匀性：0.5℃@6"载物台  

 加热时间：<6min（室温~300℃）  

标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。        

RF载物台(可选项）      

 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"    

 校准片载物台：2个（独立真空控制）  

 尺寸：配套CS-5等尺寸的校准片  

 校准片载物台角度调节范围：7°  

 材质：不锈钢  

 平整度：≤±2.5μm  

 真空驱动方式：真空泵  

其它扩展配件(可选项）      

 探针卡夹具：可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试  

 激光器：1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。  

 半自动控制系统：实现晶圆小批量半自动测试需求  

设备环境要求      

 电源：220V±10%  

 真空：-8bar  

 压缩空气：0.6MPa